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臭氧化应用技术最广泛、最成功的领域是水处理领域。臭氧用于水处理，除灭菌效果好，无二次污染外，还兼有脱色、除味，去除铁、锰、氧化分解有机物和助凝作用，据报告，臭氧能够消杀水中一切对人体有害的物质。臭氧应用污水消毒时需要较大的臭氧投加量和较长的接触时间。其主要原因是因为污水中存在着较高的污染物如 cod 、 no 2 -n 、色度和悬浮物等，这些物质都会消耗臭氧，降低臭氧的杀菌能力，只有当污水在臭氧消毒之前经过必要的预处理，才能使臭氧消毒更经济更有效。
在使用臭氧发生器之前我们应该做好以下几点：
1. 系统设备管道防腐处理：臭氧气体具有很强的腐蚀性，在潮湿情况下腐蚀性最强。因此，臭氧发生设备‘输送臭氧的管道’阀门及接触反应设备均采取防腐措施。
2. 设置通风排气设备：臭氧具有毒性，空气中臭氧浓度达到 0.1mg/m 3 时就对人的眼睛、鼻、喉及呼吸道产生刺激作用在 0.01-0.02mg / m 3 时可闻到臭味；因此在臭氧设备间应设置通风设备，万一发生泄漏可及时排出臭氧。
3. 臭氧输送管道及臭氧设备必须密闭，防止泄漏：在设备运行之前应检查是否漏气，运行中一旦发生泄漏应立即关掉臭氧发生器电源，打开排风扇排出臭氧，再进行检修。
4. 臭氧发生器为高压放电设备，应设置接地装置，接地电阻应小于 。 操作应严格按照设备使用说明书及有关电器使用要求进行。
臭氧在工业废水处理中应用十分普遍，70年代末，美国进行了大量的循环冷却水的臭氧处理研究，证明臭氧具有缓蚀、阻垢、杀菌、灭藻、节水、无污染等诸多优点，所以臭氧处理循环冷却水具有非常广阔的前景。目前也越来越多的人在关注臭氧的处理工艺了。
